点击图片查看原图“VIEW MicroLine 300影像测量仪”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 品牌： | QVI/VIEW |
| 加工定制： | 是 | 操作方式： | 全自动 |
| 测量行程： | 200*200mm | 放大倍率： | 标配镜头10x，可选镜头：5X, 20X |
| 测量精度： | 10nm | 外形尺寸： | 280x506x850mm |
| 型号： | MicroLine 300 | 规格： | MicroLine 300 |
| 商标： | VIEW | 包装： | VIEW |
| 重量： | 56kg |
“VIEW MicroLine 300影像测量仪”详细介绍
MicroLine300关键尺寸的自动化光学测量系统MicroLineTM300是一款高性能测量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工设备等关键尺寸的自动化测量系统。该系统配备了高质量光学显微镜和精密移动平台，可对200mm的晶圆上0.5μm到400μm的特征尺寸进行全自动的精密视场测量。200x200mm精密X-Y平台基于视觉的自动聚焦获得最佳影像质量自动照明可编程光强用于测量透明层、不规则边缘的线、厚膜等的强劲性能完全可编程的序列，包括自动聚焦和关键尺寸测量电动的6目物镜转换器，软件控制可选的透射照明技术规格：-测量行程:200x200x25mm(XYZ)-平台运行:交叉滚轴手动同轴定位和快速释放-视场内的测量精度:0.010μm(用100x物镜)-特征尺寸:视场内0.5μm-400μm-FOV测量重复性: